中国通信专家:国产光刻机已进行交付,美国的制裁明明没能遏制中国发展,但他们还要这么干

上海微电子公司推出的28nm浸润式DUV光刻机已经进入测试阶段,其他国产设备也已经陆续进入生产线上,对同类型的海外设备实现了部分替代。

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虽然国产EUV光刻机目前没有准确消息,但是浸润式DUV光刻机已经提上商业化发展的日程,重点解决在前端光刻机领域被卡脖子的困境。

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