美国警告：中国已掌握EUV光刻机？ASML：绝无可能！美方说有证据

ASML还列举了多个技术理由反驳美方质疑，第一全球数量透明——目前共有314台EUV光刻机正在运行，另有26台已退役，中国境内数量为零。

第二，设备体积如同一辆校车，重约180吨，产量有限。第三，每台EUV光刻机都持续与ASML后台联网，能自动检测中断、异常行为或连接中断。

第四，设备需要ASML员工进行持续维护，第五，ASML内部对接触EUV技术的人员实施了严格的“防火墙”制度——能够访问EUV技术、文档和培训资料的员工与无法访问的完全隔离。

中国团队在“防火墙”的另一侧，根本接触不到关键技术细节，傅恪礼本人更直言：“你无法逆向工程一台你从未拥有的机器，而中国大陆没人拥有过它。”

然而，多名不愿透露姓名的美国政府高级官员向彭博社表示，他们掌握的证据显示，ASML向中国大陆出口了专门用于运输EUV机器的特殊设备以及可用于EUV系统的相关零部件。

但当媒体多次要求美方提供出货证据或说明是否掌握EUV系统已在中国境内的实质证据时，官员均以涉及敏感情报源为由拒绝，亦拒绝评论为何至今未对ASML采取惩罚行动。

彭博社向美方提问：若真有证据，为何政府不采取更强硬的政策或惩罚措施？美方官员拒绝回答，这种“有罪推定”式的指控让ASML陷入困境——它需要证明一件无法证明的“不存在之事”。