美国警告:中国已掌握EUV光刻机?ASML:绝无可能!美方说有证据

2026年6月,全球唯一能造出EUV光刻机的荷兰公司ASML,被美国商务部长卢特尼克当面对质。

华盛顿怀疑,这台重达180吨、造价高达4亿美元、从未卖给过中国的机器,可能已经通过某种途径流入了中国。

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美方官员声称掌握“敏感证据”,却以涉及敏感情报源为由拒绝公开,ASML则全力“自证清白”,强调全球314台在用EUV光刻机在中国境内的数量是零。

一场围绕全球最尖端芯片制造设备的新争端,正在华盛顿与海牙之间发酵。

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一场“有罪推定”式的指控

据知情人士透露,2026年4月,卢特尼克在一场涵盖ASML对美投资承诺等多个议题的会议中,当面向ASML首席执行官傅恪礼等高层表达了对EUV光刻机流入中国的强烈担忧。

EUV光刻机是当前全球唯一能够制造7纳米以下尖端半导体电路图案的设备,台积电、三星等巨头均依赖其为苹果、英伟达生产尖端处理器。

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早在特朗普首个任期,美国就已禁止ASML向中国出口此类设备。有趣的是,这场紧张的闭门会议在公开层面被刻意淡化。

事后,卢特尼克与傅恪礼均在社交媒体上以正面措辞形容会面,对EUV争议只字不提,然而私下里,ASML已进入“危机模式”。

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ASML坚决否认有任何EUV设备进入中国大陆。公司发言人在声明中强调:“ASML从未向中国大陆发运过EUV机器,也从未向中国大陆发运过任何专门设计用于EUV机器的组件、模块或设备。”